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當(dāng)前位置:首頁   >  產(chǎn)品中心  >  CVD、PECVD設(shè)備  >  PECVD管式爐  >  -OTF-1200X-50-PE-SPECVD管式爐

PECVD管式爐

簡要描述:OTF-1200X-50-PE-S是一款小型的PE-CVD(等離子體氣相沉積)管式爐系統(tǒng)。此套設(shè)備帶有500W的等離子射頻電源,一個(gè)爐管直徑為50mm的開啟式管式爐(帶有真空法蘭和連接管道)和一個(gè)直聯(lián)式雙旋機(jī)械泵。因此這套設(shè)備模型可以更新為不同的PECVD 系統(tǒng)。對于有限的經(jīng)費(fèi)的情況下來進(jìn)行材料探索,此套系統(tǒng)極為理想。

  • 產(chǎn)品型號(hào):-OTF-1200X-50-PE-S
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間:2025-02-10
  • 訪  問  量:7309

詳細(xì)介紹

OTF-1200X-50-PE-S是一款小型的PE-CVD(等離子體氣相沉積)管式爐系統(tǒng)。此套設(shè)備帶有500W的等離子射頻電源,一個(gè)爐管直徑為50mm的開啟式管式爐(帶有真空法蘭和連接管道)和一個(gè)直聯(lián)式雙旋機(jī)械泵。因此這套設(shè)備模型可以更新為不同的PECVD  系統(tǒng)。對于有限的經(jīng)費(fèi)的情況下來進(jìn)行材料探索,此套系統(tǒng)極為理想。

 

特征:

1、與普通CVD相比可以在低溫環(huán)境下進(jìn)行氣相沉積實(shí)驗(yàn)

2、對于薄膜的應(yīng)力可以通過射頻電源的頻率來進(jìn)行控制

3、通過工藝調(diào)節(jié)來控制化學(xué)計(jì)量

4、能夠廣泛地用于各種材料沉積,如SiOx, SiNx, SiOxNy 和無定型硅(a-Si:H) 等.

 

技術(shù)參數(shù)

開啟式管式爐

  • 輸入電源:208 – 240V AC, 1.2kW
  • zui高工作溫度1200℃(小于1小時(shí))
  • 連續(xù)使用溫度1100
  • 采用高純氧化鋁作為爐膛材料,并且表面涂有美國進(jìn)口高溫氧化鋁涂層,可延長儀器使用壽命和提高加熱效率
  • 高純石英爐管,尺寸為 50mmOD x 44mmID x  780mmL
  • 可設(shè)置30段升降溫程序,并帶有過熱和斷偶保護(hù)
  • 加熱區(qū)長度為200mm,恒溫區(qū)長度為60mm(+/-1°C)

      
                 
    (點(diǎn)擊圖片查看詳細(xì)資料)

等離子體射頻電源

  • 輸出功率: 5 -500W可調(diào)
  • 穩(wěn)定性為+/-1%
  • 射頻電源頻13.56 MHZ, 穩(wěn)定性±0.005% 
  • zui大反向功率: 200W max
  • 射頻電源電子輸出口: 50 Ω, N型半島體陰極
  • 噪聲<50 dB.
  • 冷卻方式:空氣冷卻
  • 輸入電源: 208-240VAC, 50/60Hz  
     

真空法蘭和接頭

  • 真空法蘭采用304不銹鋼制作
  • 左端法蘭上安裝有防腐型數(shù)字真空計(jì)、不銹鋼針閥和一個(gè)球閥。
  • 右端法蘭設(shè)計(jì)為KF25接口,上面配有泄氣閥,擋板閥和兩個(gè)KF25卡箍
  • 儀器中所配的數(shù)字真空計(jì),可以不用因使用氣體的不同而進(jìn)行校正,同時(shí)還具有防腐功能(請點(diǎn)擊圖片查看詳細(xì)介紹)

      

真空泵

  • AC 220V 50 Hz  1/2HP  375W
  • 2L/s
  • 與本公司管式爐配套使用,可使其真空度達(dá)到10-2 torr
  • 進(jìn)氣端帶有儲(chǔ)氣球(防止回油),出氣端安裝有油霧過濾器(防止油霧擴(kuò)散到空氣中,保護(hù)環(huán)境和人體健康)
     

產(chǎn)品尺寸和重量

外形尺寸:1500mm x 600mm x 1200mm( L x W x H)

凈重: 160 lbs

可選配置

請點(diǎn)擊查看下面的混氣及氣液混合系統(tǒng)

  • 防腐型小型三路浮子混氣系統(tǒng)
  • 精密氣液混合系統(tǒng)
  • 三路質(zhì)子混氣系統(tǒng)

質(zhì)保期

一年質(zhì)保期,終生維護(hù)(不包括爐管、硅膠密封圈和加熱元件)

質(zhì)量認(rèn)證

CE Certified

 

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