6單溫區(qū)CVD真空管式爐

簡要描述：GSL-1100X-6-S 是一款爐管內徑為 6“ 的真空管式爐 , 它可以在Z大5“的基片上生長多種薄膜（在不同氣氛下）. 該爐的Z高工作溫度為 1100°C, 采用30段可編程PID數(shù)字溫度控制器，溫控精度: ±1°C。

產(chǎn)品分類

詳細介紹

GSL-1100X-6-S 是一款爐管內徑為 6" 的真空管式爐 , 它可以在zui大5“的基片上生長多種薄膜（在不同氣氛下）. 該爐的zui高工作溫度為 1100°C, 采用30段可編程PID數(shù)字溫度控制器，溫控精度: ±1°C。

技術參數(shù)

爐體結構	雙層殼體，循環(huán)風冷. 爐體表面溫度< 70 ºC 采用高純度氧化鋁多晶纖維保溫材料，環(huán)保節(jié)能
工作電壓	AC 220V
功率	8KW
爐管規(guī)格	6" O.D x 40" 長標配內包含一只石英管, 多余的管子可單獨訂購 (點擊下圖查看)
加熱元件	NiCrAl 電阻絲
工作溫度	工作溫度: 400 -1100°C 升降溫速率: 10°C/min(max)
加熱區(qū)	加熱區(qū)總長: 600mm (24'') 恒溫區(qū)長度: 中心200mm (精度±1°C) 在800℃時爐膛溫度分布曲線( 點擊下圖查看)
控溫儀	采用30段可編程PID數(shù)字溫度控制器設有一個額外的溫度校準檢測系統(tǒng) 雙K型熱電偶測溫. 溫控精度: ±1°C 軟件接口、模塊和PC機不在標配內需額外訂購可選: PC接口和軟件
密封法蘭和進氣接口	不銹鋼真空密封法蘭雙硅膠密封圈密封真空度可達到 (機械泵：10-2 torr、分子泵：10-4 torr). 真空泵不包含在內右端法蘭上設有一個鎧裝熱偶檢測口和KF40真空接口. ( 如需對爐膛溫度進行校準請訂購36" 長 x 1/4"dia K 型熱電偶) 包括兩個高純氧化鋁或石英管堵,設備使用時右端必須安裝管堵阻止熱的輻射
產(chǎn)品尺寸	爐體: 1000L x 680W x 920 H mm
凈重	250Kg
保修期	整機保修一年，相關耗材除外。（如密封圈、爐管等）
質量認證	Certificate